超流阀 excess flow valve
   内装式超流阀excess flow valve是一种介质流速超压安全泄压装置，它（溢流止回阀 Excess Flow Check Valves）被用来装设于储槽的管线流出方向，并必须尽可能靠近储槽来安装，它（晶圆过量流量阀 WAFER EXCESS FLOW VALVE）的装设目的在于，当流体流向储槽之外时，如果管线中的下游发生破裂或洩漏时，它能及时的切断流向，当高速的流体从储槽输出时，会将阀盘推向闭止的位置，每一个超流阀（流量阀 Flow Valves）在出厂都已设计特定的关闭流速，它（晶片过流单向阀 Wafer Excess Flow Check Valves）只允许流量低于此特定的流速以下的流体通过。

   超流阀 EXCESS FLOW CHECK VALVES是一个压差正常时打开的阀门， 当流量压力升高时，会因进出口的压差而关闭，并且在只要阀前阀后压差值维持不均衡时，阀（多余流量止回阀 Excess Flow Check Valves)）会一直关闭着。很明显地，除非储槽的压力太低而无法维持超流閥 Excess flow valve的关闭，在正常情况下，超流阀被适当的安装且管线及管件的尺寸恰当的话，当下游的管线发生破例的情况下，超流阀（过量流量止回阀 excess flow check valves）会自动的关闭。

   当需要维修此系统时，阀盖上的小流孔，会允许小流量的通过，以平衡阀的前、后压力，使超流阀（限流阀 Flow-limiting valve）恢复打开的位置，以备下次的使用。超流阀安装的位置，请避免有限流的装置在附近进出口的管线，管件尺寸不可以低于超流阀（恒流阀 Constant flow valve）的尺寸。
   超流阀的起始关闭流量与实际闭止的流量值，有一点点不同，这是一般会造成阀咔嗒咔嗒（Chattering）声音的源故，我们已尽可能设计使内装式超流阀在这范围的不同减至最小，应该说，目前没有一个制造商可以设计到没有此现象这个范围，包括美国 Hemco，美国 BGRS，Inc，米高梅阀门(MGM Valves)，台湾千涵國際股份有限公司也是同一个现象，这个范围因阀的尺寸不同而不同，并没有与较大流量的一致关系，一般来说，弹簧的强度愈高，zuei大的流量值愈大，而咔嗒咔嗒的范围也愈大。
  SLLF-150LB-10超流弁，在额定的zuei大流量之下，皆可以稳定而不被中断的关闭，只要超过设定的闭止流量值时，超流阀会自动关闭，因此，zuei大流量与与闭止流量的值有些差别，通常我们建议闭止流量的值为正常流量值的1.5～2倍。